微机电系统工程专业是以机、电技术,尤其是微机械为基础的,综合多种学科领域技术的新型交叉学科。本专业的研究领域主要有微传感器、微加速度计、微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术等。 1、微机电系统工程专业主要课程 微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
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